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情報化社会を支えるキーデバイスである半導体に微細回路を焼き付ける半導体露光装置、そして各家庭に急速に普及しつつある液晶テレビに組み込まれる液晶（LCD）パネルに微細回路を焼きつけるFPD露光装置、これらは世の中に無くてはならないものになっています。

特に半導体露光装置（ステッパー）は、g線からi線へ、そしてエキシマレーザー（KrF/ArF）ステッパーへと微細露光技術の進化が進み、さらに次世代のリソグラフィーとして、超微細露光技術であるEUVL（Extreme Ultra Violet Lithography）−極紫外線リソグラフィーが研究されています。
液晶ディスプレー用露光装置においては、液晶パネル基板サイズごとに第6、第7、第8世代、そしてさらに次世代へと大型化が進んでいます。

日東光器では、これら半導体・FPD装置の照明系・ステージ系機構や、半導体の欠陥を解析・測定する測長SEM（Scanning Electron Microscope）機、微細マスクを製造するEB（電子ビーム）露光機などに搭載される各種光学部品（高精度プリズム、大型バーミラー、コーナーキューブプリズムなど）を、長年の経験による独自の高精度平面加工・多層薄膜コーティング技術を駆使し、加工しています。特にFPD装置向けには、製作サイズ3,000mmを超える、超長尺バーミラーの加工を行っています。
また、バーミラーは光学ガラス・セラミックスなど各種光学素材をお客様のご要望に応じて加工しています。