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技術情報

薄膜コーティング(真空蒸着・スパッタリング)

光学部品に機能を付加する

薄膜コーティングとは、金属や半導体物質、誘電体物質(金属酸化物、フッ化物など)を、真空蒸着法やスパッタリング法、気相成長法などを用いてガラスや結晶などの基板に成膜させることで、可視域から、赤外、紫外域における光の反射・透過・吸収・放射・屈折・干渉・回折などをもたらす特性・機能を付加します。仕様によっては100層以上の薄膜を積層させることもあります。

日東光器の成膜の歴史は、反射防止膜、アルミ増反射膜、ITO膜(透明導電膜)からはじまり、その後、分波膜、波長分離膜を手がけ、誘電体多層膜の成膜技術を確立してます。

対応波長帯域としては、半導体露光装置用光学部品(ArF:193nm)から光通信用光学素子(1.55μm帯)までをカバーするまでにいたっており、次世代のEUV(極紫外線)波長帯域、あるいは多波長対応も視野に研究開発を進めており、その成果の一部は展示会等で発表しています。

プリズム成膜

多種多様な分野からのお客様の成膜設計ニーズ、お問い合せに、日東光器では、お客様のご要望仕様に最適な装置を使い、薄膜をIAD(イオンビームアシスト)法や、マグネトロンスパッタ法などに独自技術を加えて成膜し、研究開発用試作品から量産品にいたるまで、安定した品質を提供しています。

成膜装置

 

さまざまな波長域に対応できます

日東光器では、薄膜コーティング加工を行うにあたり、さまざまな波長域において膜設計の段階からお客様の成膜ニーズに応えます。

波長域別製品・薄膜



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