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製品情報

光学薄膜

反射鏡

■ Reflecting Mirror ■ Reflection Mirror

 

反射鏡

反射鏡は、アルミ・銀などの金属膜や、誘電体膜などでコーティングされています。あらゆる光学系に使用され、重要な役目を持っています。全反射ミラーにおいては、R(反射率)=99.99%を実現しています。

光路図 反射鏡
応用例: 双眼鏡

多層膜反射ミラー

■ Multi-layer Reflection Mirror

 

多層膜反射ミラー

EUVリソグラフィー用の多層膜反射ミラーの製作も行っています。
・マグネトロンスパッタ法による製作
・Mo/Si多層膜
・R = 64% (現在) ※目標>70%

光路図 多層膜反射ミラー
応用例: 半導体・液晶露光装置(EUV対応)、EUVL反射光学系の実験評価用

全反射ミラー

■ Total Reflection Mirror

 

光路図 全反射ミラー

全反射ミラーは、その名の通り、全ての光を反射する光学素子です。
光ピックアップでは、DVD、CDの2波長を反射するミラーにブルー(Blu-ray Disc、HD DVD)を加えた3波長を反射するミラーがあります。

応用例: 医療機器、半導体・液晶露光装置(照明系、ステージ系)、光ピックアップ、フィルムカメラ、デジタルカメラ、顕微鏡、測量機、測定器、投影機、音響光学装置、光学センサー

広帯域バンド反射ミラー

■ Wide Band Reflection Mirror

 

光路図 広帯域バンド反射ミラー

特定波長帯域を反射します。チューナブルレーザー等のレーザー共振器用途などに使用されます。

応用例: レーザー共振器

超大型反射鏡

■ Ultra Huge Reflection Mirror

 

光路図 超大型反射鏡

φ2,800mm(対角線)の大型ミラーも高精度に加工しています。

応用例: 大型測定器、投影機

増反射ミラー

■ Enhanced Reflection Mirror

 

光路図 増反射ミラー

増反射ミラーは、通常の金属反射膜に特殊加工することで、反射率の向上がほどこされています。アルミニウム反射膜で反射率92%以上を確保します。増反射ミラーがないと光量が不足してしまうような光学系に採用されます。

レーザーミラー

■ Laser Mirror

別名:多層膜ミラー

レーザーミラー

レーザーミラーは、全反射ミラーとして主に利用されますが、反射効率は自由に設定でき、最高でR(反射率)=99.99%を実現します。

光路図 レーザーミラー
応用例: 光ピックアップ

青色レーザー用多層膜ミラー

■ Laser Mirror for Blue Laser

 

青色レーザー用多層膜ミラー
光路図 青色レーザー用多層膜ミラー
応用例: 光ピックアップ

Blue/DVD/CD 3波長無位相レーザー用多層膜ミラー

■ 3 Wave Non-phase Retardation Laser Mirror for Blu-ray Disc(HD DVD)/DVD/CD

 

Blue/DVD/CD 3波長無位相レーザー用多層膜ミラー
光路図 Blue/DVD/CD 3波長無位相レーザー用多層膜ミラー

ブルー(Blu-ray Disc, HD DVD)用波長、DVD用波長、CD用波長のいずれかの2波を全反射し、さらに位相差をゼロにしたミラーです。

応用例: 光ピックアップ

エキシマレーザー用多層膜ミラー

■ Laser Mirror for Excimer Laser

 

エキシマレーザー用多層膜ミラー
光路図 エキシマレーザー用多層膜ミラー
応用例: 半導体・液晶露光装置(光源系、照明系)

反射防止膜

■ Anti-Reflection Coating ■ AR Coating

別名:ARコート

反射防止膜

一般にはガラスと空気との境界面においては、おおよそ、4%の残留反射が発生します。この残留反射を防止するために、誘電体膜を蒸着する事でその残留反射を、反射率0.5%以下に制御できます。多数の光学部品で構成される光学系では、一面ごとの残留反射を少なくすることが要求されます。

エキシマレーザー対応反射防止膜

■ Anti-Reflection Coating for KrF/ArF Excimer Laser

 

光路図 エキシマレーザー対応反射防止膜

紫外領域におけるエキシマレーザー(KrF/ArF)に対応した反射防止膜のコーティングを行っています。

応用例: 半導体・液晶露光装置(光源系)

コールドミラー/フィルター

■Cold Mirror/Filter

 

コールドミラー/フィルター

コールドミラー/フィルターは、有効な可視域の波長を選択的に反射または透過させる膜です。可視域の中で有効に使うためにはシャープな分光特性を維持する必要があります。

光路図 コールドミラー/フィルター
応用例: 医療機器

ハーフミラー

■ Semi-transparent Mirror

別名:半透鏡

光路図 ハーフミラー

ハーフミラーは、一般的には透過:反射=1:1の光量に分岐する光学素子ですが、光ピックアップにおいてはビームスプリッターと同意語で使われることがあります。

応用例: 光通信、半導体・液晶露光装置(照明系、ステージ系)、光ピックアップ、光学センサー

ダイクロイックミラー

■ Dichroic Mirror

 

ダイクロイックミラー

ダイクロイックミラーは、特定の波長色を反射し、他の色を透過させます。

光路図 ダイクロイックミラー
応用例: LCD/LCOSタイプ液晶プロジェクター、DLPプロジェクター

ダイクロイックフィルター

■ Dichroic Filter

別名:2色フィルター

ダイクロイックフィルター

ダイクロイックフィルターは、特定の波長のみを透過し、他の色を反射させます。

光路図 ダイクロイックフィルター
応用例: LCD/LCOSタイプ液晶プロジェクター、DLPプロジェクター

 

バンドパスフィルター

■ Band Pass Filter (50G/Hz,100G/Hz,200G/Hz)

別名:BPF

バンドパスフィルター

バンドパスフィルター(BPF)は、特定波長を選択的に取り出す膜です。各種レーザーに対応し最高の透過率を維持します。

光路図 バンドパスフィルター
応用例: 医療機器

 

狭帯域バンドパスフィルター

■ Narrow Band Pass Filter

 

光路図 狭帯域バンドパスフィルター

狭帯域バンドパスフィルターは、DWDM/CWDM用途などで、特定波長を選択的に取り出すためのフィルターです。

応用例: 光通信(DWDM−50GHz,100GHz)

CWDMバンドパスフィルター

■ CWDM Band Pass Filter

 

光路図 CWDMバンドパスフィルター

CWDM(Coarse Wavelength Division Multiplexing)光通信用途にて使用するバンドパスフィルターです。 使用波長帯域が20nm間隔の場合、透過帯域は14nm以上と広く、かつリップルを抑えたバンドパスフィルターを実現しています。ガラス基板のみならず、ポリイミド゙基板もしくは、自立膜でも製作可能です。

応用例: 光通信用(CWDM)

広帯域バンドパスフィルター

■ Wide Band Pass Filter

 

光路図 広帯域バンドパスフィルター

広帯域バンドパスフィルターは、ADM(Add Drop Multiplexer - 分岐挿入装置)用途などで特定波長を選択的に取り出すためのフィルターです。

応用例: 光通信(ADM−分岐挿入装置, OEXC−光クロスコネクト)

251nm帯域バンドパスフィルター

■ 251nm Band Pass Filter

 

光路図 251nm帯域バンドパスフィルター

中心波長251nmのバンドパスフィルター作成が可能です。温度安定性に優れ、所定の帯域で極めて高い透過率を達成することが可能です。

応用例: 検査装置

殺菌用光学部品New

■ Optics for sterilization

 

殺菌用光学部品

人体に害が無くコロナウイルスを殺菌する効果がある波長220〜250nm付近の膜設計および製作が可能です。

応用例: 紫外線殺菌装置

エッジフィルター

■ Edge Filter

 

 

エッジフィルターは、光通信におけるCバンド/Lバンド分離・合成や、光増幅器(EDFA:Erbium Doped Fiber Amplifier)、ラマン増幅器における励起光と信号光の分離・合成などに利用されます。その名の通り、特性グラフを見ると立ち上がりがシャープな分光特性を持っていることがわかります。

応用例: 光通信(ファイバーアンプ用)、医療機器

ロングパスフィルター

■ Long Wave Pass Filter(LWPF)

別名:ハイパスフィルター

光路図 ロングパスフィルター

ロングパスフィルター(LWPF)は、長波長を透過し短波長を反射します。任意の波長に対してシャープな分光特性を有します。

応用例: 光通信(FTTH用)

ショートパスフィルター

■ Short Wave Pass Filter(SWPF)

別名:ローパスフィルター

光路図 ショートパスフィルター

ショートパスフィルター(SWPF)は、短波長を透過し長波長を反射します。任意の波長に対してシャープな分光特性を有します。

応用例: 光通信(FTTH用)

スキャナーフィルター

■ Scanner Filter ■ Color Trimming Filter for Scanners

 

スキャナーフィルター  

光路図 スキャナーフィルター
応用例: スキャナー

 

アッテネーター

■ Attenuator

別名:アテネーター、NDフィルター、減衰板

光路図 アッテネーター

アッテネーターは、光量加減フィルター(NDフィルター)ともよばれ、段階的または単独で光量を調整する機能を持ったフィルターです。無段階に100%から数パーセントの調光が可能になります。エキシマレーザー(KrF/ArF)にも対応できます。

 
応用例: 半導体・液晶露光装置、光通信

 

表面無反射アッテネーター

■ Anti-reflection Attenuator

別名:表面無反射NDフィルター

光路図 表面無反射アッテネーター

任意の光量減衰(25%や50%など)を行いながら、表面反射を無くしたアッテネーター(NDフィルター)です。

応用例: 光通信用、光ピックアップ、計測機器

干渉フィルター

■ Interference Filter

 

 

干渉フィルターは、光の波長程度の厚さの透明膜で生じる干渉を利用して、所定の波長領域の光を透過、または反射させるフィルターです。

色ガラスフィルター

■ Colored Glass Filters

 

色ガラスフィルター
光路図 色ガラスフィルター

通常は色ガラスを使用しますが、この色特性を蒸着によって再現した物です。誘電体膜で構成すると、吸収の無い良質な物ができますが角度依存性が高く、使用領域が狭くなります。

IRカットフィルター

■ IR Cut Filter

 

IRカットフィルター

IRカットフィルターは、赤外線領域をカットして可視域の波長を透過させる膜で、コールドフィルターと同様の特性を有します。

【基板材質】Blue Glass、D263、各種高耐熱樹脂フィルム

【特長】
Blue Glass:自然な色味を再現でき、画質低下につながる発色や被写界の深度の問題を改善可能。800万画素を超えるスマートフォンのメインカメラにも搭載。
D263:安価に製造される為、スマートフォンのサブカメラに搭載。
フィルム:カメラモジュールの極薄化に伴い、薄板フィルムへの成膜ニーズあり。耐熱樹脂上にIR_Cut膜を成膜します。

光路図 IRカットフィルター
応用例: イメージセンサー用IRカットフィルター(スマートフォン、DSC、車載カメラ、監視カメラ等)

UVカットフィルター

■ UV Cut Filter

 

UVカットフィルター
光路図 UVカットフィルター
応用例: 医療機器、LCD/LCOSタイプ液晶プロジェクター、DLPプロジェクター

医療・バイオ用光学部品

■ Optics for medhical instruments and biotech instruments

 

光路図 医療・バイオ用光学部品

レーザーラマン分光用途等、医療・バイオ用途に使用されるフィルターです。医療分野、計測機器分野で蛍光検出方式が注目されています。極めて帯域の狭い特定波長帯域の透過を高い光学濃度で抑制し、その他の帯域の波長を限りなく透過させます。

 
応用例: 医療機器(レーザーラマン分光、蛍光検出)

 

ゲインフラットニングフィルター

■ Gain Flattening Filter ■ GFF

別名:ゲインフラットフィルター、利得平坦化フィルター、GFF

 

光通信用の光増幅器(EDFA:Erbium Doped Fiber Amplifier)の利得等価に用いられる特殊フィルターです。最適な等価特性を実現します。

 
応用例: 光通信(ファイバーアンプ用)

 

赤外帯域用光学部品(ARコート)

■ Optics for Infrared (Anti-Reflection Coating)

 

中赤外・遠赤外帯域用に設計された反射防止膜です。赤外線を用いたアプリケーションに幅広く応用する事が可能です。

 
応用例: 暗視カメラ用ウインドウ、赤外放射温度計用ウインドウ、赤外センサー用ウインドウ、CO2レーザー加工機用ウインドウ

 

赤外帯域用光学部品(高反射コート)

■ Optics for Infrared (High-Reflection Coating)

 

中赤外・遠赤外帯域用に設計された高反射ミラーです。赤外線を用いたアプリケーションに幅広く応用する事が可能です。

 
応用例: 暗視カメラ用ミラー、赤外放射温度計用ミラー、赤外センサー用ミラー、CO2レーザー加工機用ミラー

 

高耐久性AFコート(防汚膜)

■ Anti-Fingerprinting coating

 

 

【基板材質】 各種強化ガラス、サファイアガラス、樹脂等タッチパネル等のカバーガラスに使用される高性能ARコート+高耐久性AFコート(防汚膜)加工が可能です。
カスタム製造により光学特性の向上と、高耐久性、撥水性を有するフロントウインドウを供給可能です。
反射防止膜は、視感度上、白色に調整されており、斜視状況においても色味の変化が少ない設計が可能です。

 
応用例: タッチパネル用カバーガラス、時計用カバーガラス、各種カバーガラス

 

高耐久性膜New

■ High-durability coat

 

光路図 高耐久性膜01
 
光路図 高耐久性膜02

高精度の研磨および膜設計による高い耐久性を持つ光学部品をご提供しております。
レーザー加工機および露光装置などで使用されています。

応用例: YAGレーザー、エキシマレーザー、ファイバーレーザー

 

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