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製品情報

光学薄膜

反射鏡

■ Reflecting Mirror ■ Reflection Mirror

 

反射鏡

反射鏡は、アルミ・銀などの金属膜や、誘電体膜などでコーティングされています。あらゆる光学系に使用され、重要な役目を持っています。全反射ミラーにおいては、R(反射率)=99.99%を実現しています。

光路図 反射鏡
応用例: 双眼鏡

多層膜反射ミラー

■ Multi-layer Reflection Mirror

 

多層膜反射ミラー

EUVリソグラフィー用の多層膜反射ミラーの製作も行っています。
・マグネトロンスパッタ法による製作
・Mo/Si多層膜
・R = 64% (現在) ※目標>70%

光路図 多層膜反射ミラー
応用例: 半導体・FPD装置(EUV対応)、EUVL反射光学系の実験評価用

全反射ミラー

■ Total Reflection Mirror

 

光路図 全反射ミラー

全反射ミラーは、その名の通り、全ての光を反射する光学素子です。
光ピックアップでは、DVD、CDの2波長を反射するミラーにブルー(Blu-ray Disc、HD DVD)を加えた3波長を反射するミラーがあります。

応用例: 医療機器、半導体・FPD装置(照明系、ステージ系)、光ピックアップ、フィルムカメラ、デジタルカメラ、顕微鏡、測量機、測定器、投影機、音響光学装置、光学センサー

広帯域バンド反射ミラー

■ Wide Band Reflection Mirror

 

光路図 広帯域バンド反射ミラー

特定波長帯域を反射します。チューナブルレーザー等のレーザー共振器用途などに使用されます。

応用例: レーザー共振器

超大型反射鏡

■ Ultra Huge Reflection Mirror

 

光路図 超大型反射鏡

φ2,800mm(対角線)の大型ミラーも高精度に加工しています。

応用例: 大型測定器、投影機

増反射ミラー

■ Enhanced Reflection Mirror

 

光路図 増反射ミラー

増反射ミラーは、通常の金属反射膜に特殊加工することで、反射率の向上がほどこされています。アルミニウム反射膜で反射率92%以上を確保します。増反射ミラーがないと光量が不足してしまうような光学系に採用されます。

レーザーミラー

■ Laser Mirror

別名:多層膜ミラー

レーザーミラー

レーザーミラーは、全反射ミラーとして主に利用されますが、反射効率は自由に設定でき、最高でR(反射率)=99.99%を実現します。

光路図 レーザーミラー
応用例: 光ピックアップ

青色レーザー用多層膜ミラー

■ Laser Mirror for Blue Laser

 

青色レーザー用多層膜ミラー
光路図 青色レーザー用多層膜ミラー
応用例: 光ピックアップ

Blue/DVD/CD 3波長無位相レーザー用多層膜ミラー

■ 3 Wave Non-phase Retardation Laser Mirror for Blu-ray Disc(HD DVD)/DVD/CD

 

Blue/DVD/CD 3波長無位相レーザー用多層膜ミラー
光路図 Blue/DVD/CD 3波長無位相レーザー用多層膜ミラー

ブルー(Blu-ray Disc, HD DVD)用波長、DVD用波長、CD用波長のいずれかの2波を全反射し、さらに位相差をゼロにしたミラーです。

応用例: 光ピックアップ

エキシマレーザー用多層膜ミラー

■ Laser Mirror for Excimer Laser

 

エキシマレーザー用多層膜ミラー
光路図 エキシマレーザー用多層膜ミラー
応用例: 半導体・FPD装置(光源系、照明系)

反射防止膜

■ Anti-Reflection Coating ■ AR Coating

別名:ARコート

反射防止膜

一般にはガラスと空気との境界面においては、おおよそ、4%の残留反射が発生します。この残留反射を防止するために、誘電体膜を蒸着する事でその残留反射を、反射率0.5%以下に制御できます。多数の光学部品で構成される光学系では、一面ごとの残留反射を少なくすることが要求されます。

エキシマレーザー対応反射防止膜

■ Anti-Reflection Coating for KrF/ArF Excimer Laser

 

光路図 エキシマレーザー対応反射防止膜

紫外領域におけるエキシマレーザー(KrF/ArF)に対応した反射防止膜のコーティングを行っています。

応用例: 半導体・FPD装置(光源系)

コールドミラー/フィルター

■Cold Mirror/Filter

 

コールドミラー/フィルター

コールドミラー/フィルターは、有効な可視域の波長を選択的に反射または透過させる膜です。可視域の中で有効に使うためにはシャープな分光特性を維持する必要があります。

光路図 コールドミラー/フィルター
応用例: 医療機器

ハーフミラー

■ Semi-transparent Mirror

別名:半透鏡

光路図 ハーフミラー

ハーフミラーは、一般的には透過:反射=1:1の光量に分岐する光学素子ですが、光ピックアップにおいてはビームスプリッターと同意語で使われることがあります。

応用例: 光通信、半導体・FPD装置(照明系、ステージ系)、光ピックアップ、光学センサー

ダイクロイックミラー

■ Dichroic Mirror

 

ダイクロイックミラー

ダイクロイックミラーは、特定の波長色を反射し、他の色を透過させます。

光路図 ダイクロイックミラー
応用例: LCD/LCOSタイプ液晶プロジェクター、DLPプロジェクター

ダイクロイックフィルター

■ Dichroic Filter

別名:2色フィルター

ダイクロイックフィルター

ダイクロイックフィルターは、特定の波長のみを透過し、他の色を反射させます。

光路図 ダイクロイックフィルター
応用例: LCD/LCOSタイプ液晶プロジェクター、DLPプロジェクター

 

バンドパスフィルター

■ Band Pass Filter (50G/Hz,100G/Hz,200G/Hz)

別名:BPF

バンドパスフィルター

バンドパスフィルター(BPF)は、特定波長を選択的に取り出す膜です。各種レーザーに対応し最高の透過率を維持します。

光路図 バンドパスフィルター
応用例: 医療機器

 

狭帯域バンドパスフィルター

■ Narrow Band Pass Filter

 

光路図 狭帯域バンドパスフィルター

狭帯域バンドパスフィルターは、DWDM/CWDM用途などで、特定波長を選択的に取り出すためのフィルターです。

応用例: 光通信(DWDM−50GHz,100GHz)

CWDMバンドパスフィルター

■ CWDM Band Pass Filter

 

光路図 CWDMバンドパスフィルター

CWDM(Coarse Wavelength Division Multiplexing)光通信用途にて使用するバンドパスフィルターです。 使用波長帯域が20nm間隔の場合、透過帯域は14nm以上と広く、かつリップルを抑えたバンドパスフィルターを実現しています。ガラス基板のみならず、ポリイミド゙基板もしくは、自立膜でも製作可能です。

応用例: 光通信用(CWDM)

広帯域バンドパスフィルター

■ Wide Band Pass Filter

 

光路図 広帯域バンドパスフィルター

広帯域バンドパスフィルターは、ADM(Add Drop Multiplexer - 分岐挿入装置)用途などで特定波長を選択的に取り出すためのフィルターです。

応用例: 光通信(ADM−分岐挿入装置, OEXC−光クロスコネクト)

251nm帯域バンドパスフィルター

■ 251nm Band Pass Filter

 

光路図 251nm帯域バンドパスフィルター

中心波長251nmのバンドパスフィルター作成が可能です。温度安定性に優れ、所定の帯域で極めて高い透過率を達成することが可能です。

応用例: 検査装置

殺菌用光学部品New

■ Optics for sterilization

 

殺菌用光学部品

人体に害が無くコロナウイルスを殺菌する効果がある波長220〜250nm付近の膜設計および製作が可能です。

応用例: 紫外線殺菌装置

エッジフィルター

■ Edge Filter

 

 

エッジフィルターは、光通信におけるCバンド/Lバンド分離・合成や、光増幅器(EDFA:Erbium Doped Fiber Amplifier)、ラマン増幅器における励起光と信号光の分離・合成などに利用されます。その名の通り、特性グラフを見ると立ち上がりがシャープな分光特性を持っていることがわかります。

応用例: 光通信(ファイバーアンプ用)、医療機器

ロングパスフィルター

■ Long Wave Pass Filter(LWPF)

別名:ハイパスフィルター

光路図 ロングパスフィルター

ロングパスフィルター(LWPF)は、長波長を透過し短波長を反射します。任意の波長に対してシャープな分光特性を有します。

応用例: 光通信(FTTH用)

ショートパスフィルター

■ Short Wave Pass Filter(SWPF)

別名:ローパスフィルター

光路図 ショートパスフィルター

ショートパスフィルター(SWPF)は、短波長を透過し長波長を反射します。任意の波長に対してシャープな分光特性を有します。

応用例: 光通信(FTTH用)

スキャナーフィルター

■ Scanner Filter ■ Color Trimming Filter for Scanners

 

スキャナーフィルター  

光路図 スキャナーフィルター
応用例: スキャナー

 

アッテネーター

■ Attenuator

別名:アテネーター、NDフィルター、減衰板

光路図 アッテネーター

アッテネーターは、光量加減フィルター(NDフィルター)ともよばれ、段階的または単独で光量を調整する機能を持ったフィルターです。無段階に100%から数パーセントの調光が可能になります。エキシマレーザー(KrF/ArF)にも対応できます。

 
応用例: 半導体・FPD装置、光通信

 

表面無反射アッテネーター

■ Anti-reflection Attenuator

別名:表面無反射NDフィルター

光路図 表面無反射アッテネーター

任意の光量減衰(25%や50%など)を行いながら、表面反射を無くしたアッテネーター(NDフィルター)です。

応用例: 光通信用、光ピックアップ、計測機器

干渉フィルター

■ Interference Filter

 

 

干渉フィルターは、光の波長程度の厚さの透明膜で生じる干渉を利用して、所定の波長領域の光を透過、または反射させるフィルターです。

色ガラスフィルター

■ Colored Glass Filters

 

色ガラスフィルター
光路図 色ガラスフィルター

通常は色ガラスを使用しますが、この色特性を蒸着によって再現した物です。誘電体膜で構成すると、吸収の無い良質な物ができますが角度依存性が高く、使用領域が狭くなります。

IRカットフィルター

■ IR Cut Filter

 

IRカットフィルター

IRカットフィルターは、赤外線領域をカットして可視域の波長を透過させる膜で、コールドフィルターと同様の特性を有します。

【基板材質】Blue Glass、D263、各種高耐熱樹脂フィルム

【特長】
Blue Glass:自然な色味を再現でき、画質低下につながる発色や被写界の深度の問題を改善可能。800万画素を超えるスマートフォンのメインカメラにも搭載。
D263:安価に製造される為、スマートフォンのサブカメラに搭載。
フィルム:カメラモジュールの極薄化に伴い、薄板フィルムへの成膜ニーズあり。耐熱樹脂上にIR_Cut膜を成膜します。

光路図 IRカットフィルター
応用例: イメージセンサー用IRカットフィルター(スマートフォン、DSC、車載カメラ、監視カメラ等)

UVカットフィルター

■ UV Cut Filter

 

UVカットフィルター
光路図 UVカットフィルター
応用例: 医療機器、LCD/LCOSタイプ液晶プロジェクター、DLPプロジェクター

医療・バイオ用光学部品

■ Optics for medhical instruments and biotech instruments

 

光路図 医療・バイオ用光学部品

レーザーラマン分光用途等、医療・バイオ用途に使用されるフィルターです。医療分野、計測機器分野で蛍光検出方式が注目されています。極めて帯域の狭い特定波長帯域の透過を高い光学濃度で抑制し、その他の帯域の波長を限りなく透過させます。

 
応用例: 医療機器(レーザーラマン分光、蛍光検出)

 

ゲインフラットニングフィルター

■ Gain Flattening Filter ■ GFF

別名:ゲインフラットフィルター、利得平坦化フィルター、GFF

 

光通信用の光増幅器(EDFA:Erbium Doped Fiber Amplifier)の利得等価に用いられる特殊フィルターです。最適な等価特性を実現します。

 
応用例: 光通信(ファイバーアンプ用)

 

赤外帯域用光学部品(ARコート)

■ Optics for Infrared (Anti-Reflection Coating)

 

中赤外・遠赤外帯域用に設計された反射防止膜です。赤外線を用いたアプリケーションに幅広く応用する事が可能です。

 
応用例: 暗視カメラ用ウインドウ、赤外放射温度計用ウインドウ、赤外センサー用ウインドウ、CO2レーザー加工機用ウインドウ

 

赤外帯域用光学部品(高反射コート)

■ Optics for Infrared (High-Reflection Coating)

 

中赤外・遠赤外帯域用に設計された高反射ミラーです。赤外線を用いたアプリケーションに幅広く応用する事が可能です。

 
応用例: 暗視カメラ用ミラー、赤外放射温度計用ミラー、赤外センサー用ミラー、CO2レーザー加工機用ミラー

 

高耐久性AFコート(防汚膜)

■ Anti-Fingerprinting coating

 

 

【基板材質】 各種強化ガラス、サファイアガラス、樹脂等タッチパネル等のカバーガラスに使用される高性能ARコート+高耐久性AFコート(防汚膜)加工が可能です。
カスタム製造により光学特性の向上と、高耐久性、撥水性を有するフロントウインドウを供給可能です。
反射防止膜は、視感度上、白色に調整されており、斜視状況においても色味の変化が少ない設計が可能です。

 
応用例: タッチパネル用カバーガラス、時計用カバーガラス、各種カバーガラス

 

高耐力光学薄膜New

■ High Laser Damage Threshold Coatings

 

光路図 高耐力光学薄膜01
 
光路図 高耐力光学薄膜02

高精度の研磨および膜設計による高いレーザー耐性を持つ光学部品をご提供しております。
レーザー加工機および露光装置などで使用されています。

応用例: YAGレーザー、エキシマレーザー、ファイバーレーザー

 

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