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製品情報

特殊ミラー

バーミラー

■ Bar Mirror

別名:長尺ミラー

光路図 バーミラー

バーミラーは、露光装置のX-Yステージの制御系に使用されます。X-Yステージの性能がバーミラーに対する要求制度を決定します。高精度に完成されたバーミラーはそのまま、その性能を発揮します。半導体・液晶部品の需要拡大とともに、ステージの大型化・高精度化・素材の多様化(セラミックス等)が進んでいます。
日東光器では、測定器:ZYGO 32"(φ800)干渉計やZYGO 12"(φ300)干渉計により、平面精度λ以下レベルのミラー平面を測定保証致します。

製作寸法:100mm〜3,500mm超まで対応できます。
製作精度:平面度 数μmレベル〜λ以下まで対応できます。
(形状、素材、ご要求精度などの詳しい仕様につきましてはご相談下さい)

超長尺バーミラー

■ Ultra Long Bar Mirror

 

光路図 超長尺バーミラー

超長尺バーミラーは、長さ約2,500mm〜3,000mm超まで対応できます。順次大型化技術を確立しています。

応用例: 半導体・液晶露光装置(ステージ系)

極低膨張ガラスセラミックスバーミラー

■ Ultra Low Expansion Glass-ceramics Bar Mirror

 

極低膨張ガラスセラミックスバーミラー
光路図 極低膨張ガラスセラミックスバーミラー
応用例: 半導体・液晶露光装置(ステージ系)

石英バーミラー

■ Quartz Bar Mirror

 

石英バーミラー
光路図 石英バーミラー
応用例: 半導体・液晶露光装置(ステージ系)

セラミックスバーミラー

■ Ceramics Bar Mirror

 

セラミックスバーミラー
光路図 セラミックスバーミラー
応用例: 半導体・液晶露光装置(ステージ系)

SiCセラミックスバーミラー

■ SiC Ceramics Bar Mirror

 

光路図 SiCセラミックスバーミラー
応用例: 半導体・液晶露光装置(ステージ系)

L型ミラー

■ L-shaped Mirror

 

L型ミラー
光路図 L型ミラー
応用例: 半導体・液晶露光装置(ステージ系)

ポリゴンミラー

■ Polygon Mirror

別名:多面体ミラー

ポリゴンミラー

ポリゴンミラーは、周囲に一連の平面反射面を持った回転多面体ミラーです。走査される物体上に光源からの光を反射します。レーザープリンターなどで使われます。

光路図 ポリゴンミラー
応用例: レーザープリンター

リングレーザージャイロ用ミラー

■ Ring Laser Gyroscope Mirror

 

リングレーザージャイロ用ミラー

リングレーザージャイロ用ミラーは、レーザーを使用しての回転重力を応用した姿勢制御装置になる、光学式のジャイロコンパス素子です。

光路図 リングレーザージャイロ用ミラー
応用例: 航空・宇宙(航空機、船舶、ロケット)

低散乱ミラー

■ Low Scattering Mirror

 

低散乱ミラー

イオンビームスパッタリング(IBS)技術を用いて低損失・低散乱な高反射ミラーの供給が可能です。

 
応用例: 航空・宇宙(飛行機、船舶、ロケット)

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