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技術情報

フォトエッチング

フォトエッチング技術を用いたグレーティング加工

フォトエッチングとは、ガラスなどの基板上にコーティング加工した膜を選択的にエッチング除去することによりパターン化する加工技法で、グレーティングなどの製作に利用されています。

グレーティング(回折格子)とは、光を分光する回折素子で、プリズムを使用せずに、平面ガラス基板の上にアルミやSiO2などの誘電体膜をフォトレジスト(感光)し、順次積層し、微細ミゾを刻んだもので、光が透過すると回折現象をおこし分光します。さらに分波された光は中心の0次光と左右に±1次光〜数次光を発生させます。分光特性はミゾの幅と深さによって決まります。

フォトエッチングに関するパターニング精度については近年、ますます微細化が進み高いスペックが要求されています。
日東光器では、リソグラフィ、エッチング(ドライエッチング法、ウエットエッチング法)において、新技術を用いてラインアンドスペース 3μmオーダーのパターニングを実現しています。

 

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