HOME > 製品情報トップ > その他


製品情報

その他

グレーティング

■ Diffraction Grating

別名:回折格子

グレーティング

グレーティングは、光を一定の法則にしたがって分解するものです。正確に作られた格子から分光される光は、0次光とそれ以外の多数次光に分光されます。一般には分光機器に多く用いられますが、特殊な使い方として、CDやDVDなどの光ピックアップのトラッキングとして利用されています。 日東光器では、フォトエッチングによるグレーティング加工を行っています。

光路図 グレーティング
応用例: 光通信、光ピックアップ、音響光学機器、分光機器

 

エタロン

■ Etalon

 

 

エタロンは、平行平面の面を利用して光を反復反射させることにより波長を狭帯域化させ、より正確な単色光を取り出すことができます。ソリッドタイプとエアギャップタイプがあります。半導体テクノロジーの進歩とともに微細化・高精度化が進むエキシマレーザーリソグラフィーおいて、日東光器では、KrF/ArFレーザーに対応した光学部品の製作を行っています。

ファブリ・ペロー・エタロン

■ Fabry-perot Etalon ■ Air Gapped Etalon

別名:ファブリー・ペロエタロン、エアギャップエタロン

ファブリ・ペロー・エタロン

ファブリ・ペロー・エタロン(エアギャップエタロン)は、多重反射をする光学素子です。反射率の高い2枚の平行平面(オプチカルフラット)を、特定の間隔に、かつ平行に固定しています。反射面には波長に応じた反射膜を蒸着しています。光通信用の狭帯域フィルター用や半導体露光装置エキシマレーザー用などで使われます。

応用例: 光通信(アクティブ系−DFBレーザー波長ロッカー用デバイス)、半導体・液晶露光装置(光源系)、測定器、干渉計

ソリッドエタロン

■ Solid Etalon ■ Optical Flat

別名:平行平面(オプチカルフラット)

 

ソリッドエタロンは、高精度平行平板のエタロンです。光通信向けDFBレーザー用波長ロッカーなどで使われます。平行な2面間の厚み制御技術および、面精度・平行度の精度加工技術により、任意のFSRで優れたフィネス特性を実現します。

応用例: 光通信(アクティブ系−DFBレーザー波長ロッカー用デバイス)、半導体・液晶露光装置(光源系)、計測機器(波長狭帯域化素子)

ポリイミド基板フィルター

■ Polyimide Substrate Filter

 

 

高耐熱特性を有するポリイミド素材を多層膜フィルターの基板に使用します。ガラス基板では不可能であった極薄基板フィルターの製作が可能です(基板厚み6〜10μm)。

応用例: 光通信(SPF、LPF、BPF)

基板レスフィルター

■ Substrateless Filter、Substrate-less Filter

 

 

多層膜フィルター用途などで製作されます。基板が無いため、光カップリングロスが無いフィルターを実現できます。

応用例: 光通信(SPF、LPF、BPF)

マスクブランクス

■ Mask Blanks

 

 

フォトエッチングに不可欠のフォトマスク用の基板として、高精度に仕上げた基板を日東光器は提供します。

EUVマスク用ガラス基板

■ Glass for EUV Mask Blanks

 

 

・基板:低膨張系ガラス
・表面粗さ = 3Å以下(現在) ※目標<1.5Å
・平坦度 = 63nm以下(現在) ※目標<50nm
・平行度 = 61.8nm以下(現在) ※目標<50nm

応用例: 半導体・液晶露光装置(EUV対応部品)

波長変換素子

■ Wavelength Conversion Crystal Elements

 

光路図 波長変換素子

任意の処理を施した結晶に対し、高精度の研磨加工と蒸着加工(反射防止膜)を一貫して行うことができます。レーザーパワーに対する耐性にも優れています。

応用例: 測定器

CaF2(フッ化カルシウム)光学部品

■ CaF2 Single Crystal

 

 

CaF2(フッ化カルシウム)は、広帯域高透過特性材料として真空紫外〜赤外光領域までを透過する優れた特性を保持しています。
日東光器では、その特性に注目して、通常のガラスでは通すことのできない波長帯域用の光学デバイスのご提案を行っています。

CaF2プリズム

■ CaF2 Prism

光学ウインドウ(窓材)

■ CaF2 Window

 

光学ウインドウ(窓材)

近年、GaN系化合物半導体を基本とする、青あるいは青紫系LD、LEDが市販されています。これらは、短波長光の高エネルギーにより窓材(樹脂)が失透し、発光効率が低下するという問題が見受けられます。
日東光器では、この課題をクリアし、信頼性の高い発光・受光素子のご提案を目的としてCaF2材を使用した光学ウインドウ(窓材)をご紹介しています。

応用例: 半導体・液晶露光装置(光源系)

紫外線領域透過封止ガラス

■ Ultraviolet Ray Territory Transmission Sealed Glass

紫外線励起(カット)青発光封止ガラス

■ Ultraviolet Ray Cut Blue Luminosity Sealed Glass

シリンドリカルレンズ

■ Cylindrical Lens

別名:集光レンズ、円柱レンズ

シリンドリカルレンズ

シリンドリカルレンズは、円柱状の屈折面を持つレンズです。一定方向にのみ曲率が付いているため、光の焦点は平行方向に列の焦点を結びます。

応用例: 医療機器、計測機器、レーザープリンター

シュバルツシルト光学系

■ Schwarzschild Optical System

 

光路図 シュバルツシルト光学系

・形状精度 = λ/10
・粗さ精度 = 0.3nm以下(RMS)
・サイズ = 直径200mm以下
・形状 = 非球面

磁気力顕微鏡用高保磁力探針

■ Probes for MFM (Magnetic Force Microscopy)

 

 

磁気力顕微鏡に用いられるカンチレバーを提供します。独自の薄膜形成技術により、高保磁力を実現しました。
・保磁力:10kOe以上

応用例: 磁場印加状態でのMFM計測機器用探針

MLA(マイクロレンズアレー)

■ Micro Lens Array (MLA)

 

MLA(マイクロレンズアレー)

合成石英、もしくはシリコン基板でのマイクロレンズアレーです。 合成石英基板は耐熱性に優れており紫外線( i-line等)に使用可能です。シリコン(Si)は合成石英より高屈折で、光通信用帯域、赤外帯域で使用可能です。

応用例: 光通信用、半導体・液晶露光装置(光源系)

 

光学設計製造受託New

■ Optical design and manufacturing

 

光学設計製造受託

お問い合せ、お客様のご用途、ご要望をお教えください。
光学設計、目的、ご用途に従い最適な光学設計をご提案します。
レイアウト・機構設計、光学設計後、モジュールの構造、機構設計をご提案します。
光学部品製造、アッセンブル加工、レンズ並びに、プリズム、フィルター等の製造、組み立てまで承ります。
試作(開発)〜量産加工、検証用試作品〜製品化に向けたプロトタイプ品更に、量産品まで承ります。

製品についてのお問い合せはこちらのフォームをご利用下さい。

製品情報トップへ戻る

 




サブメニュー