技術情報

研磨

各種光学素材を精密研磨

研磨とは、研削工程で加工された光学プリズム、ミラーを仕様精度に仕上げるための加工であり、製品の最終形状精度を決定する重要な工程です。
加工設備や評価装置、そして卓越した緻密さを基本とする熟練工が一体となり世界最高クラスの研磨精度を実現しています。

プリズム研磨

加工設備については量産対応用のオスカー研磨機、両面研磨機、精密研磨用のロータリー研磨機、ダイヤモンド研磨機、世界に数台といわれる超大型研磨装置を用い、1mm以下の極小プリズムの研磨から半導体製造装置用の3,000mm超の超精密ステージミラーの研磨まで、あらゆるサイズの研磨に対応いたします。

絶対平面を追求し続ける日東光器の研磨精度は、たとえれば、関東平野(直径300km)を絶対平面に見立てるとピンポン玉程度の面精度誤差で加工しているということになります。

研磨可能な硝材については、各種光学ガラス、水晶、CaF2(フッ化カルシウム)等の結晶や各種セラミックスの研磨加工が可能です。

精度評価についてはZYGO干渉計(4"、12"、32")による面精度(面形状)評価、3次元測定器による寸法測定、高精度角度測定機(0.1"の分解精度)の組み合せによる角度測定、表面粗さ計による面粗度評価を行っています。

研磨機



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