光学薄膜

反射鏡Reflecting Mirror, Reflection Mirror

反射鏡は、アルミ・銀などの金属膜や、誘電体膜などでコーティングされています。用途に応じて膜構成を最適化することで、反射率99.9%以上の反射ミラーを実現しています。

応用例
  • 双眼鏡

光路図

多層膜反射ミラーMulti-layer Reflection Mirror

多層膜反射ミラーは、光の波長に応じた高い反射率を実現するために、異なる屈折率を持つ材料を交互に積層した光学素子です。

応用例
  • 半導体・FPD製造装置(照明系、ステージ系)
  • 計測機器

光路図

分光特性・スペック

高反射ミラーHigh-Reflectivity Mirror

高反射ミラーは、反射率99.9%以上を達成する光学素子で、光を損失なく高精度に反射する機能を持ちます。複数の波長に対応した多層膜ミラーも開発されており、位相差ゼロでの反射を実現しています。これにより、複数波長のレーザーを高効率かつ安定的に走査・検出することが可能となっています。

応用例
  • 医療機器
  • 半導体・FPD製造装置(照明系、ステージ系)
  • デジタルカメラ
  • 顕微鏡
  • 測量機
  • 測定器
  • 投影機
  • 音響光学装置
  • 光学センサー

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広帯域バンド反射ミラーWide Band Reflection Mirror

広帯域バンド反射ミラーは、特定波長帯域を反射します。チューナブルレーザー等のレーザー共振器用途などに使用されます。

応用例
  • レーザー共振器

光路図

分光特性・スペック

超大型反射鏡Ultra Huge Reflection Mirror

超大型反射鏡は、日東光器にてφ1,000mm以上の大型ミラーも高精度に加工することが可能です。

応用例
  • 大型測定器
  • 投影機
  • 航空・宇宙

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増反射ミラーEnhanced Reflection Mirror

増反射ミラーは、通常の金属反射膜に特殊加工することで、反射率の向上を実現しています。アルミニウム反射膜で反射率95%以上を確保します。増反射ミラーがないと光量が不足してしまうような光学系に採用されます。

応用例
  • 半導体・FPD製造装置(ステージ系)
  • レーザープリンター
  • 検査装置

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レーザーミラーLaser Mirror

別名:多層膜ミラー

レーザーミラーは、高反射ミラーとして主に利用されますが、反射効率は自由に設定でき、最高でR(反射率)=99.9%を実現しています。

応用例
  • レーザー加工機
  • 半導体・FPD製造装置(光源系、照明系)
  • その他(測定)

光路図

分光特性・スペック

青色レーザー用多層膜ミラーLaser Mirror for Blue Laser

青色レーザー用多層膜ミラーは、青色レーザー(波長405nm前後)に対応するために、誘電体多層膜を用いたミラーが使用されます。高反射率と耐レーザー性が求められます。

応用例
  • レーザー顕微鏡
  • マスク描画装置

光路図

分光特性・スペック

エキシマレーザー用多層膜ミラーLaser Mirror for Excimer Laser

エキシマレーザー用多層膜ミラーは、紫外波長に対応するため、誘電体多層膜を用いたミラーが使用されます。高反射率と耐レーザー性が求められます。

応用例
  • 半導体・FPD製造装置(光源系、照明系)

光路図

分光特性・スペック1

分光特性・スペック2

反射防止膜Anti-Reflection Coating, AR Coating

別名:ARコート

反射防止膜は、ガラスと空気の境界面で発生する約4%の残留反射を抑えるために用いられます。誘電体膜を蒸着することで、この反射率を0.5%以下に制御することが可能です。多数の光学部品で構成される光学系においては、各面の残留反射を低減することが求められ、反射防止膜の使用が重要な役割を果たします。

応用例
  • 半導体・FPD製造装置(光源系)

エキシマレーザー対応反射防止膜Anti-Reflection Coating for KrF/ArF Excimer Laser

エキシマレーザー対応反射防止膜は、DUV(深紫外)領域におけるエキシマレーザー(波長193nmのArF、248nmのKrF)に対応したARコーティング技術で、日東光器は高い透過率と耐久性を実現しています。

応用例
  • 半導体・FPD製造装置(光源系)

光路図

分光特性・スペック

分光特性・スペック2

コールドミラー/フィルターCold Mirror/Filter

コールドミラー/フィルターは、有効な可視域の波長を選択的に反射または透過させる膜です。可視域の中で有効に使うためにはシャープな分光特性を維持する必要があります。

応用例
  • 医療機器

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ハーフミラーSemi-transparent Mirror/Half Mirror

別名:半透鏡

ハーフミラーは、一般的に透過:反射=1:1の光量に分岐する光学素子であり、光通信や3Dディスプレイなどの分野ではビームスプリッターと同じ用途で使用されることがあります。

応用例
  • 光通信
  • 半導体・FPD製造装置(照明系、ステージ系)
  • 光学センサー

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分光特性・スペック

ダイクロイックミラーDichroic Mirror

ダイクロイックミラーは、特定の波長の光を反射し、他の波長を透過させます。

応用例
  • LCD/LCOSタイプ液晶プロジェクター
  • DLPプロジェクター

光路図

分光特性・スペック1

分光特性・スペック2

ダイクロイックフィルターDichroic Filter

別名:2色フィルター

ダイクロイックフィルターは、特定の波長の光を透過し、他の波長を反射させます。

応用例
  • LCD/LCOSタイプ液晶プロジェクター
  • DLPプロジェクター

光路図

バンドパスフィルターBand Pass Filter (50G/Hz,100G/Hz,200G/Hz)

別名:BPF

バンドパスフィルター(BPF)は、特定の波長の光を選択的に取り出す膜です。各種レーザーに対応し最高の透過率を維持します。

応用例
  • 医療機器
  • 分光分析

光路図

狭帯域バンドパスフィルターNarrow Band Pass Filter

狭帯域バンドパスフィルターは、DWDM(Dense Wavelength Division Multiplexing)/CWDM(Coarse Wavelength Division Multiplexing)用途などで、特定波長を選択的に取り出すためのフィルターです。

応用例
  • 光通信(DWDM-50GHz,100GHz)

光路図

分光特性・スペック1

分光特性・スペック2

CWDMバンドパスフィルターCWDM Band Pass Filter

CWDMバンドパスフィルターは、CWDM光通信用途にて使用するバンドパスフィルターで、 使用波長帯域が20nm間隔の場合、透過帯域は14nm以上と広く、かつリップルを抑えます。

応用例
  • 光通信用(CWDM)

光路図

分光特性・スペック

広帯域バンドパスフィルターWide Band Pass Filter

広帯域バンドパスフィルターは、ADM(Add Drop Multiplexer – 分岐挿入装置)用途などで特定波長を選択的に取り出すためのフィルターです。

応用例
  • 光通信(ADM-分岐挿入装置, OEXC-光クロスコネクト)

光路図

分光特性・スペック

251nm帯域バンドパスフィルター251nm Band Pass Filter

251nm帯域バンドパスフィルターは、中心波長が251nmのバンドパスフィルターです。温度安定性に優れ、所定の帯域で極めて高い透過率を達成することが可能です。

応用例
  • 半導体検査装置用

光路図

分光特性・スペック

殺菌用光学部品Optics for sterilization

殺菌用光学部品は、人体に害を及ぼすことなく、コロナウイルスを殺菌する効果がある220~250nm付近の波長に対応しており、日東光器は膜設計および製作が可能です。

応用例
  • 紫外線殺菌装置

光路図

分光特性・スペック

エッジフィルターEdge Filter

エッジフィルターは、光通信におけるCバンド/Lバンドの分離・合成や、光増幅器(EDFA:Erbium Doped Fiber Amplifier)およびラマン増幅器における励起光と信号光の分離・合成などに利用されます。

応用例
  • 光通信(ファイバーアンプ用)
  • 医療機器
  • 分光分析(赤外、紫外)

ロングパスフィルターLong Wave Pass Filter(LWPF)

別名:ハイパスフィルター

ロングパスフィルター(LWPF)は、長波長を透過し短波長を反射します。任意の波長に対してシャープな分光特性を有します。

応用例
  • 光通信(FTTH用)
  • 分光分析(赤外、紫外)

光路図

分光特性・スペック

ショートパスフィルターShort Wave Pass Filter(SWPF)

別名:ローパスフィルター

ショートパスフィルター(SWPF)は、短波長を透過し長波長を反射します。任意の波長に対してシャープな分光特性を有します。

応用例
  • 光通信(FTTH用)

光路図

分光特性・スペック

スキャナーフィルターScanner Filter, Color Trimming Filter for Scanners

スキャナーフィルターは、スキャナーにおいて画像の読み取りに必要な波長帯域を選択的に透過させるフィルターです。

応用例
  • スキャナー

光路図

アッテネーターAttenuator

別名:アテネーター、NDフィルター、減衰板

アッテネーターは、光量加減フィルター(NDフィルター)とも呼ばれ、段階的または単独で光量を調整できるフィルターです。無段階に100%から数%までの調光が可能で、KrFやArFなどのエキシマレーザーにも対応しています。

応用例
  • 半導体・FPD製造装置(照明系)
  • 光通信

光路図

表面無反射アッテネーターAnti-reflection Attenuator

別名:表面無反射NDフィルター

表面無反射アッテネーターは、任意の光量減衰(25%や50%など)を行いながら、表面反射を無くした光学素子です。

応用例
  • 光通信用
  • 計測機器

光路図

分光特性・スペック

干渉フィルターInterference Filter

干渉フィルターは、光の波長程度の厚さの透明膜で生じる干渉を利用して、所定の波長領域の光を透過、または反射させるフィルターです。高精度な波長選択が可能で、分光計測に使用されます。

応用例
  • 分光分析
  • 測定器

分光特性・スペック

色ガラスフィルターColored Glass Filter

色ガラスフィルターは、ガラスの吸収特性を利用し、多層膜単独では困難な特性を得ることができます。

応用例
  • 分光分析
  • 測定器

光路図

IRカットフィルターIR Cut Filter

IRカットフィルターは、赤外線領域をカットして可視域の波長を透過させる膜で、コールドフィルターと同様の特性を有します。
ブルーガラスやD263、各種高耐熱樹脂フィルムなどの基板にIRカット膜をコーティングします。

応用例
  • イメージセンサー用IRカットフィルター(スマートフォン、DSC、車載カメラ、監視カメラ等)

光路図

分光特性・スペック1

分光特性・スペック2

UVカットフィルターUV Cut Filter

UVカットフィルターは、紫外線を遮断し、可視光を透過させる膜で、光学部品や撮像素子の劣化防止に使用されます。

応用例
  • 医療機器
  • LCD/LCOSタイプ液晶プロジェクター
  • DLPプロジェクター

光路図

分光特性・スペック

医療・バイオ用光学部品Optics for medical instruments and biotech instruments

医療・バイオ用光学部品は、レーザーラマン分光などの用途に使用され、蛍光検出方式が注目されています。極めて狭い波長帯域の光のみを高い光学濃度で抑制し、それ以外の波長はほぼ透過させます。

応用例
  • 医療機器(レーザーラマン分光、蛍光検出)

光路図

分光特性・スペック1 ノッチフィルター

分光特性・スペック2 トリプルノッチフィルター

分光特性・スペック3 トリプルバンドパスフィルター

分光特性・スペック4 蛍光観察用バンドパスフィルター

分光特性・スペック5 蛍光観察用ロングパスフィルター

蛍光フィルターFluorescence Filter

蛍光フィルターは、蛍光観察や分析において、特定の波長の光のみを選択的に透過・遮断する光学素子です。主に励起フィルター、ダイクロイックミラー、そして発光フィルターの3種類で構成されます。

応用例
  • 医療機器(レーザーラマン分光、蛍光検出)

分光特性・スペック

ゲインフラットニングフィルターGain Flattening Filter, GFF

別名:ゲインフラットフィルター、利得平坦化フィルター、GFF

ゲインフラットニングフィルターは、光通信用の光増幅器(EDFA:Erbium Doped Fiber Amplifier)の利得等価に用いられる特殊光学素子です。最適な等価特性を実現します。

応用例
  • 光通信(ファイバーアンプ用)

分光特性・スペック

赤外帯域用光学部品(ARコート)Optics for Infrared (Anti-Reflection Coating)

赤外帯域用光学部品(ARコート)は、赤外帯域用に設計された反射防止膜をコーティングした光学素子です。赤外線を用いたアプリケーションに幅広く応用する事が可能です。

応用例
  • 暗視カメラ用ウインドウ
  • 赤外放射温度計用ウインドウ
  • 赤外センサー用ウインドウ
  • CO₂レーザー加工機用ウインドウ

分光特性・スペック

赤外帯域用光学部品(高反射コート)Optics for Infrared (High-Reflection Coating)

赤外帯域用光学部品(高反射コート)は、赤外帯域用に設計された高反射ミラーです。赤外線を用いたアプリケーションに幅広く応用する事が可能です。

応用例
  • 暗視カメラ用ミラー
  • 赤外放射温度計用ミラー
  • 赤外センサー用ミラー
  • CO₂レーザー加工機用ミラー

分光特性・スペック

高耐久性AFコート(防汚膜)Anti-Fingerprinting coating

高耐久性AFコート(防汚膜)は、表面に付着する指紋や油分、水滴などを防ぎ、光学部品の清潔性と視認性を維持する膜です。耐摩耗性に優れ、長期間にわたり撥水・撥油性能を保持します。
日東光器は、各種強化ガラス、サファイアガラスなどのタッチパネル向けカバーガラスに使用される高性能ARコート+高耐久性AFコート(防汚膜)の加工が可能です。

応用例
  • タッチパネル用カバーガラス
  • 時計用カバーガラス
  • 各種カバーガラス

分光特性・スペック1

分光特性・スペック2

高出力レーザー用光学薄膜Optical Thin Films for High-Power Laser Applications

高出力レーザー用光学薄膜は、高精度の研磨および膜設計により高いレーザー耐性を実現するコーティング技術です。
レーザー加工機および半導体製造装置用エキシマレーザーなどで使用されています。

応用例
  • YAGレーザー
  • 半導体・FPD製造装置(光源系)
  • ファイバーレーザー

光路図1

光路図2

弊社所有ダメージ閾値評価用レーザー

レーザー損傷閾値