半導体・FPD製造装置分野
情報化社会を支えるキーデバイスである半導体製造において、半導体ウエハーに微細回路を形成する半導体露光装置、そしてスマートフォンやPC、テレビ等に搭載されるフラットパネルディスプレイ(FPD)製造において回路を形成するFPD露光装置は、AIをはじめとする高度情報化社会の進展に伴い、ますます重要性を増しています。
特に半導体露光装置は、従来のg線・i線・エキシマ(KrF・ArF)光源による露光からさらに進化し、現在では超微細露光技術であるEUVL(Extreme Ultra Violet Lithography)－極端紫外線リソグラフィー方式が半導体製造の量産ラインに導入されています。
FPD露光装置においては、第10.5世代(2,940 mm × 3,370 mm)とよばれる基板サイズの大型化と、OLEDやMini LEDなどの次世代フラットパネルディスプレイ技術に要求される高精細化に対応した露光装置が開発されています 。
日東光器では、これら露光装置を含む半導体・FPD製造装置の照明系・光源系・ステージ系機構や、半導体の欠陥を解析・測定する測長SEM(Scanning Electron Microscope)機、微細マスクを製造するEB(電子ビーム)露光機などに搭載される各種光学部品(高精度プリズム、大型バーミラー、コーナーキューブプリズムなど)を、長年の経験による独自の高精度平面・曲面加工技術や多層薄膜コーティング技術を駆使し、加工しています。特にFPD製造装置向けには、第10.5世代：2,940 mm × 3,370 mmの大型基板に対応するため、製作サイズ3,000mmを超える、超長尺バーミラーの加工を行っています。
また、バーミラーは石英・セラミックス・低膨張材料など最新の露光装置の要求に対応した各種光学素材を、お客様のご要望に応じて加工しています。
製品例
| 製品名 | 用途例 | |
|---|---|---|
| 基本光学プリズム | コーナーキューブプリズム | 半導体・FPD製造装置（照明系、ステージ系） |
| 三角プリズム | 半導体・FPD製造装置（照明系、ステージ系） | |
| ロンボイドプリズム | 半導体・FPD製造装置（ステージ系） | |
| ビーム整形プリズム | 半導体・FPD製造装置（光源系） | |
| ウエッジプリズム | 半導体・FPD製造装置（照明系、ステージ系） | |
| 偏光素子・偏光プリズム | 偏光ビームスプリッター | 半導体・FPD製造装置（ステージ系） |
| 無偏光ビームスプリッター | 半導体・FPD製造装置（ステージ系） | |
| 波長板 | 半導体・FPD製造装置（照明系、ステージ系） | |
| 波長板（λ/2板） | 半導体・FPD製造装置（照明系、ステージ系） | |
| 波長板（λ/4板） | 半導体・FPD製造装置（照明系、ステージ系） | |
| オプチカルコンタクト タイプ（波長板） | 半導体・FPD製造装置（照明系、ステージ系） | |
| オプチカルコンタクト タイプ（偏光ビームスプリッター PBS） | 半導体・FPD製造装置 | |
| 特殊ミラー | バーミラー | 半導体・FPD製造装置（ステージ系） |
| 超長尺バーミラー | 半導体・FPD製造装置（ステージ系） | |
| 極低膨張ガラスセラミックスバーミラー | 半導体・FPD製造装置（ステージ系） | |
| 石英バーミラー | 半導体・FPD製造装置（ステージ系） | |
| セラミックスバーミラー | 半導体・FPD製造装置（ステージ系） | |
| SiCセラミックスバーミラー | 半導体・FPD製造装置（ステージ系） | |
| Ｌ型ミラー | 半導体・FPD製造装置（ステージ系） | |
| EUV用ミラー | 半導体・FPD製造装置（EUV対応部品） | |
| 自由曲面ミラー | 半導体・FPD製造装置（照明系、ステージ系） | |
| 光学薄膜 | 多層膜反射ミラー | 半導体・FPD製造装置（照明系、ステージ系） |
| 高反射ミラー | 半導体・FPD製造装置（照明系、ステージ系） | |
| 増反射ミラー | 半導体・FPD製造装置（ステージ系） | |
| レーザーミラー | 半導体・FPD製造装置（光源系、照明系） | |
| 青色レーザー用多層膜ミラー | マスク描画装置 | |
| エキシマレーザー用多層膜ミラー | 半導体・FPD製造装置（光源系、照明系） | |
| 反射防止膜 | 半導体・FPD製造装置（光源系） | |
| エキシマレーザー対応反射防止膜 | 半導体・FPD製造装置（光源系） | |
| ハーフミラー | 半導体・FPD製造装置（照明系、ステージ系） | |
| 251nm帯域バンドパスフィルター | 半導体検査装置 | |
| アッテネーター | 半導体・FPD製造装置（照明系） | |
| 高出力レーザー用光学薄膜 | 半導体・FPD製造装置（光源系） | |
| レンズ | 平凸レンズ | 半導体・FPD製造装置（照明系、ステージ系） |
| メニスカスレンズ | 半導体・FPD製造装置（照明系、ステージ系） | |
| CaF2レンズ | 半導体・FPD製造装置（DUV対応部品） | |
| シリンドリカルレンズ | 半導体・FPD製造装置（照明系） | |
| 非球面レンズ | 半導体・FPD製造装置（照明系、ステージ系） | |
| 大口径レンズ | 半導体・FPD製造装置（照明系、ステージ系） | |
| トロイダルレンズ | 半導体・FPD製造装置（照明系、ステージ系） | |
| アキシコンレンズ | 半導体・FPD製造装置（照明系、ステージ系） | |
| フライアイレンズ | 半導体・FPD製造装置（照明系、ステージ系） | |
| MLA（マイクロレンズアレー） | 半導体・FPD製造装置（照明系） | |
| シリンドリカル形状MLA | 半導体・FPD製造装置（照明系、ステージ系） | |
| 非球面形状MLA | 半導体・FPD製造装置（照明系、ステージ系） | |
| その他 | エタロン | 半導体・FPD製造装置（光源系） |
| ファブリ・ペロー・エタロン | 半導体・FPD製造装置（光源系） | |
| ソリッドエタロン | 半導体・FPD製造装置（光源系） | |
| マスクブランクス | 半導体・FPD製造装置（EUV対応部品） | |
| EUVマスク用ガラス基板 | 半導体・FPD製造装置（EUV対応部品） | |
| CaF2（フッ化カルシウム）光学部品 | 半導体・FPD製造装置（光源系） | |
| CaF2プリズム | 半導体・FPD製造装置（光源系） | |
| シュバルツシルト光学系 | 半導体・FPD製造装置（EUV対応部品） |
スクロールできます
