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グレーティングDiffraction Grating
別名：回折格子
グレーティングは、光の回折により分光するものです。正確に作られた格子から分光される光は、0次光とそれ以外の多数次光に分光されます。 日東光器では、マイクロパターニングによるグレーティング加工を行っています。
- 光通信
- 音響光学機器
- 分光機器
光路図
エタロンEtalon
エタロンは、平行平面の面を利用して光を反復反射させることにより波長を狭帯域化させ、より正確な単色光を取り出すことができます。ソリッドタイプとエアギャップタイプがあります。半導体テクノロジーの進歩とともに微細化・高精度化が進むエキシマレーザーリソグラフィーおいて、日東光器では、KrF/ArFレーザーに対応した光学部品の製作を行っています。
- 光通信（アクティブ系－DFBレーザー波長ロッカー用デバイス）
- 半導体・FPD製造装置（光源系）
- 測定器
- 干渉計
- 計測機器（波長狭帯域化素子）
ファブリ・ペロー・エタロンFabry-perot Etalon, Air Gapped Etalon
別名：ファブリー・ペロエタロン、エアギャップエタロン
ファブリ・ペロー・エタロン（エアギャップエタロン）は、多重反射をする光学素子です。反射率の高い2枚の平行平面（オプチカルフラット）を、特定の間隔に、かつ平行に固定しています。反射面には波長に応じた反射膜を蒸着しています。光通信用狭帯域フィルターや半導体製造用装置用エキシマレーザーなどで使われます。
- 光通信（アクティブ系－DFBレーザー波長ロッカー用デバイス）
- 半導体・FPD製造装置（光源系）
- 測定器、干渉計
研磨特性データ
ソリッドエタロンSolid Etalon, Optical Flat
別名：平行平面（オプチカルフラット）
ソリッドエタロンは、高精度平行平板のエタロンです。光通信向けDFBレーザー用波長ロッカーなどで使われます。平行な2面間の厚み制御技術および、面精度・平行度の精度加工技術により、任意のFSRで優れたフィネス特性を実現します。
- 光通信（アクティブ系－DFBレーザー波長ロッカー用デバイス）
- 半導体・FPD製造装置（光源系）
- 計測機器（波長狭帯域化素子）
研磨特性データ
マスクブランクスMask Blanks
マスクブランクスは、マイクロパターニングに不可欠なフォトマスク用の基板です。日東光器は、高精度に仕上げた基板を提供しています。
- 半導体・FPD製造装置（EUV対応部品）
EUVマスク用ガラス基板Glass for EUV Mask Blanks
EUVマスク用ガラス基板は、極端紫外線(EUV)リソグラフィーに対応した高精度な光学基板です。次世代半導体製造に不可欠な部材として使用されています。日東光器は、高精度に仕上げた基板を提供しています。
- 基板：低膨張系ガラス
- 表面粗さ = 3Å以下（現在） ※目標＜1.5Å
- 平坦度 = 63nm以下（現在） ※目標＜50nm
- 平行度 = 61.8nm以下（現在） ※目標＜50nm
- 半導体・FPD製造装置（EUV対応部品）
波長変換素子Wavelength Conversion Crystal Elements
波長変換素子は、任意の処理を施した結晶に対し、高精度の研磨加工と蒸着加工（反射防止膜）を行うことで、レーザーパワーに対する優れた耐性を実現しています。
- 測定器
光路図
分光特性・スペック
CaF2（フッ化カルシウム）光学部品CaF2 Single Crystal
CaF2（フッ化カルシウム）は、広帯域高透過特性材料として真空紫外～赤外光領域までを透過する優れた特性を持っています。
- 半導体・FPD製造装置（光源系）
CaF2プリズムCaF2 Prism
CaF2プリズムは、広い波長範囲にわたって高い透過率を持ち、紫外線から赤外線までの光学用途に使用されます。低屈折率・低分散特性により、色収差を抑えた高精度な光制御が可能です。
日東光器では、加工時の取り扱いが難しいこの結晶に対し、安定的に量産研磨、高耐久コーティング加工が出来る体制を確立しています。
- 半導体・FPD製造装置（光源系）
光路図
シュバルツシルト光学系Schwarzschild Optical System
シュバルツシルト光学系は、球面鏡を組み合わせて構成される反射型光学系で、軸上の球面収差やコマ収差を補正できる設計です。
- 形状精度 = λ/10
- 粗さ精度 = 0.3nm以下(RMS)
- サイズ = 直径200mm以下
- 形状 = 非球面
- 半導体・FPD製造装置（EUV対応）
光路図
光学設計製造受託Optical design and manufacturing
光学設計から量産まで、トータルソリューションをご提供します。
お客様のご用途・ご要望に応じて、最適な光学設計をご提案いたします。設計段階では、目的に沿ったレイアウトや機構設計を行い、モジュール全体の構造を最適化します。
さらに、レンズ・プリズム・フィルターなどの光学部品の製造からアッセンブル加工まで一貫して対応。試作段階では、検証用のプロトタイプを迅速に製作し、製品化に向けた開発をサポートします。量産体制も整えており、安定した品質での製品供給が可能です。
設計から製造、量産までワンストップで対応できる体制により、お客様の開発を力強く支援いたします。
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