お問い合わせ特殊ミラー
バーミラーBar Mirror
別名：長尺ミラー
バーミラーは、露光装置のX-Yステージの制御系に使用されます。高精度に完成されたバーミラーはそのまま、その性能を発揮します。半導体・FPD製造装置用部品の需要拡大とともに、ステージの大型化・高精度化・素材の多様化（セラミックス等）が進んでいます。
日東光器では、測定器：ZYGO 32″(φ800)干渉計やZYGO 12″(φ300)干渉計により、平面精度λ以下レベルのミラー平面を測定保証致します。
面精度例
寸法400㎜以内：λ/20
寸法1,000㎜以上：1～3μm
（形状、素材、ご要求精度などの詳しい仕様につきましてはご相談下さい）
- 半導体・FPD製造装置（ステージ系）
光路図
超長尺バーミラーUltra Long Bar Mirror
日東光器では、長さが3,000mmを超える超長尺バーミラーの加工に対応しております。高精度かつ安定した品質を維持しながら、特殊サイズのバーミラーの加工を実現できる体制を整えております。さらなる大型化に向けた技術開発も順次進めており、より長尺な製品への対応力を強化しています。
- 半導体・FPD製造装置（ステージ系）
光路図
極低膨張ガラスセラミックスバーミラーUltra Low Expansion Glass-ceramics Bar Mirror
極低膨張ガラスセラミックスバーミラーは、温度変化による寸法変化が極めて小さく、光学ステージの精密な制御を可能にします。
- 半導体・FPD製造装置（ステージ系）
光路図
研磨特性データ
石英バーミラーQuartz Bar Mirror
石英バーミラーは、露光装置や検査装置のステージの精密な制御に使用されます。
- 半導体・FPD製造装置（ステージ系）
光路図
研磨特性データ
セラミックスバーミラーCeramics Bar Mirror
セラミックスバーミラーは、高剛性・低膨張特性を持つ材料を用い、温度変化や自重による変形を抑えながら、露光装置や検査装置のステージの精密な制御を可能にします。
- 半導体・FPD製造装置（ステージ系）
光路図
研磨特性データ
SiCセラミックスバーミラーSiC Ceramics Bar Mirror
SiCセラミックスバーミラーは、高硬度・高熱伝導率・低熱膨張・軽量という特性を活かし、露光装置や検査装置のステージの精密な制御を可能にします。
- 半導体・FPD製造装置（ステージ系）
光路図
Ｌ型ミラーL-shaped Mirror
L型ミラーは、正確な直角度により高精度な計測に寄与します。一体構造により装置への組み込みを容易にします。
- 半導体・FPD製造装置（ステージ系）
光路図
研磨特性データ
ポリゴンミラーPolygon Mirror
別名：多面体ミラー
ポリゴンミラーは、周囲に一連の平面反射面を持った回転多面体ミラーです。走査される物体上に光源からの光を反射します。レーザープリンターなどで使われます。
- レーザープリンター
光路図
リングレーザージャイロ用ミラーRing Laser Gyroscope Mirror
リングレーザージャイロは、航空機・ロケット・船舶の慣性航法装置に広く採用されています。リングレーザージャイロを構成するミラーは高反射率、低損失性能が求められます。
- 航空・宇宙（航空機、船舶、ロケット）
光路図
低散乱ミラーLow Scattering Mirror
低散乱ミラーは、イオンビームスパッタリング(IBS)技術により、低損失かつ高反射率を実現しています。
- 航空・宇宙（飛行機、船舶、ロケット）
EUV用ミラーEUV Mirror
EUV用ミラーは、極端紫外線（EUV：波長約13.5nm）の反射に特化した多層膜構造の光学素子です。モリブデン(Mo)とシリコン(Si)などの材料を交互に積層することで、特定波長に対する反射率を最大化します。
- 半導体・FPD製造装置（照明系、ステージ系）
- 計測機器
分光特性
自由曲面ミラーFreeform Mirror
自由曲面ミラーは、回転対称性を持たない複雑な曲面形状を持つ反射光学素子で、複数の収差を同時に補正できる高性能ミラーです。従来の球面・非球面ミラーでは困難な光制御が可能です。
- 医療機器
- 半導体・FPD製造装置（照明系、ステージ系）
- 測量機
- 測定器
- 投影機
シリコンミラーSilicon Mirror
シリコンミラーはSi基板の表面が極めて平滑に研磨されておりX線の反射に使用されます。高い形状精度と熱伝導性を持ち高エネルギー領域で有用です。精密な集光を目的として放射光施設で使用されています。
- 放射光集光用ミラー
- 赤外反射ミラー
光路図
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