バーミラーは、露光装置のX-Yステージの制御系に使用されます。X-Yステージの性能がバーミラーに対する要求制度を決定します。高精度に完成されたバーミラーはそのまま、その性能を発揮します。半導体・液晶部品の需要拡大とともに、ステージの大型化・高精度化・素材の多様化（セラミックス等）が進んでいます。
日東光器では、測定器：ZYGO 32"(φ800)干渉計やZYGO 12"(φ300)干渉計により、平面精度λ以下レベルのミラー平面を測定保証致します。

製作寸法：100mm〜3,500mm超まで対応できます。
製作精度：平面度 数μmレベル〜λ以下まで対応できます。
（形状、素材、ご要求精度などの詳しい仕様につきましてはご相談下さい）

超長尺バーミラーは、長さ約2,500mm〜3,000mm超まで対応できます。順次大型化技術を確立しています。

ポリゴンミラーは、周囲に一連の平面反射面を持った回転多面体ミラーです。走査される物体上に光源からの光を反射します。レーザープリンターなどで使われます。

リングレーザージャイロ用ミラーは、レーザーを使用しての回転重力を応用した姿勢制御装置になる、光学式のジャイロコンパス素子です。

イオンビームスパッタリング（IBS）技術を用いて低損失・低散乱な高反射ミラーの供給が可能です。